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洁净室定义标准分类及维保

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  • 发布时间: 2022-11-15
洁净室定义标准分类及维保

洁净室定义标准分类及维保

 

  洁净室是指去除一定空间内空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物,以及室内温度、洁净度、室内压力、风速和气流分布、噪声振动和照明、静电等。 控制在一定的要求范围内,并给予专门设计的房间,无尘室又称为无尘室或无尘室,无论外界空气条件如何变化,室内均能保持原有设定要求的洁净度, 温湿度和压力等性能特征。

  无尘室最重要的作用是控制产品(如硅片等)接触的气氛的洁净度和温湿度,使产品在良好的环境空间内生产制造。 我们称这个空间为洁净室。 洁净室主要分为湍流洁净室、层流洁净室和复合洁净室。

  1、湍流洁净室:

  空气从空调箱通过洁净室内的风管和空气过滤器(hepa)进入洁净室,从洁净室两侧的隔墙板或高架地板返回空气。 漩涡状态。 这种类型使用干洁净室等级 1.000-100.000。
  优点:结构简单,系统建设成本低,洁净室扩容容易,在一些专用场所可与无尘工作台配套使用,提高洁净室等级。 缺点:湍流产生的细小粉尘颗粒在室内空间漂浮时不易排出,易污染工艺产品。 此外,如果系统关闭并重新启动,通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

  2、层流洁净室:

  层流气流运动成一条均匀的直线。 空气通过过滤器以100%的覆盖率进入室内,通过活动地板或两侧的隔墙返回空气。 该型适用于干式无尘室等级要求较高的环境。 一般其洁净室等级为class1~100。 其类型可分为两种:

  (1)水平层流式:水平风从过滤器的一个方向吹出,由对面墙上的回风系统返回,粉尘随风向排出室外,污染一般在 下游侧。

  优点:结构简单,运行后能在短时间内稳定。
  缺点:造价高于湍流式,室内空间不易扩展。

  (2)垂直层流式:房间的天花板完全覆盖upa过滤器,空气从上到下吹出,以获得更高的洁净度。 过程中或工作人员产生的粉尘可迅速排出室外,不影响其他工作区域。

  优点:易于管理,开始运行后可在短时间内达到稳定状态,不易受运行状态或操作人员的影响。

  缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

洁净场所

 

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