洁净室过滤器检漏方法有哪些？

一、检漏仪法检漏：

1、被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%-120%之间运行。

2、在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露一台过滤器的方法进行测定。

3、当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风側浓度。

4、对于高效过滤器，当检漏仪表对说刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍；当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80-100μg/L。检漏仪表应具有0.001-100μg/L。

二、粒子计数器法检漏：

1、被检过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%-120%之间运行。

2、在被检高效过滤器上风側测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μm微粒为准,其浓度必须大于或等于。若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1μm微粒为准，其浓度必须大于或等于。

3、若上风側浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝聚核计数器法检漏。

4、检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2-3cm处，以5-20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。

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